微型電動隔膜泵是用微型直流電動機(一般電壓為5V、12V、24V的電動機)做動力驅動裝置,驅動內部機械偏心裝置做偏心運動,由偏心運動帶動內部的隔膜做往復運動。從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮(壓縮時抽氣口關閉,排氣口打開形成微正壓)、拉伸(壓縮時排氣口關閉,抽氣口打開形成負壓),在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差,在壓力差的作用下,將氣體壓(吸)入泵腔,再從排氣口排出。
正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差,同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油,不會污染工作介質,而且具有體積小巧、噪音低、免維護,可以連續(xù)24小時運轉等優(yōu)點,所以微型真空泵被作為動力裝置,廣泛用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合,在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領域得到了廣泛的應用。